发明名称 蒸发装置
摘要 一种能在整个长度方向均匀地放出蒸发材料的蒸发装置,其具备:上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10);覆盖长形坩埚(10)的上部开放部,且通过通电而发热,以对长形坩埚(10)内下方的上述蒸发材料加热,且具有经加热而气化的蒸发材料可通过的开口的电热器(12);以及将该电热器(12)朝长形坩埚(10)按压并予以固定的线材(22),且在线材(22)及电热器(12)之间,沿长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20),以通过上述角材(20)使线材22的按压力在长形坩埚(10)的长度方向作用,以使电热器(12)密接于长形坩埚(10)。
申请公布号 CN1550569A 申请公布日期 2004.12.01
申请号 CN200410038118.X 申请日期 2004.05.08
申请人 三洋电机株式会社 发明人 岩濑博俊;加藤晴三;落合真世;远藤铁郎
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 戈泊;王刚
主权项 1.一种蒸发装置,具备:上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚;覆盖上述长形坩埚的上部开放部,且通过通电而发热,以对上述长形坩埚内的上述蒸发材料加热,且具有经加热而气化的上述蒸发材料可通过的开口的电热器;以及将该电热器朝上述长形坩埚按压并予以固定的固定构件,且在上述固定构件与上述电热器之间,沿上述长形坩埚的长度方向配置有角材,该角材具有可与上述长形坩埚的上面侧部及侧面上部配合的面部,且上述固定构件的按压力系通过上述角材而作用于上述电热器,以使上述电热器密接于上述长形坩埚。
地址 日本大阪府守口市