发明名称 TEST SYSTEM AND METHOD OF CONTROLLING THEREOF
摘要
申请公布号 KR20060060785(A) 申请公布日期 2006.06.05
申请号 KR20040099286 申请日期 2004.11.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, CHANG HO
分类号 H01L21/66;H01L21/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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