Verfahren zum Bereitstellen von kontextspezifischen Rezepten in einer Halbleiterherstellungsstätte durch Definieren von Produktkategorien

摘要

Die RMS-Datenbank für Halbleiterprozesslinien wird auf der Grundlage von Produktgruppen oder Kategorien erstellt, wobei alle Mitglieder einer Kategorie durch ein gemeinsames Merkmal, etwa einen gemeinsamen grundlegenden Entwurf oder eine gemeinsame grundlegende Technologie, verknüpft sind. Gemeinsame Prozessrezepte in einer spezifizierten Kategorie müssen dann lediglich nur ein einziges mal erstellt werden, wodurch der Aufwand zum Erstellen der Datenbank reduziert wird. Des Weiteren können neue Produkttypen in einfacher Weise in die Kategorien integriert werden, wodurch das Anwenden bereits erstellter kategoriespezifischer Kontextinformation möglich ist.