| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen dotierten Halbleitermaterials |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT268379(B) |
申请公布日期 |
1969.02.10 |
| 申请号 |
AT19640003324 |
申请日期 |
1964.04.16 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOELAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
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| 分类号 |
B01J4/00;B01J19/08;C01B6/00;C01B33/02;C23C8/00;C23C14/32;C23C16/452;C30B13/12;C30B31/16;H01L21/00 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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