微影成像用洗净液及基板之处理方法

摘要

本发明系提供一种为剥离、溶解膜厚10～150μm光阻图案之洗净液者，含有(a)0.5～15质量％季铵氢氧化物(四丙铵氢氧化物、四丁铵氢氧化物等)、(b)65～97质量％水溶性有机溶媒(二甲亚，或其与N–甲基–2–咯烷酮、环丁码等之混合溶媒等)、以及(c)0.5～30质量％水之微影成像用洗净液、及基板之处理方法。