固体摄像元件及其制造方法

摘要

本发明在改善构成波导之光透过性材料之埋入性，谋求聚光效率提高，并确保固体摄像元件之可靠性。本发明之固体摄像元件在构成上具备：受光部(1)，其系接受光而进行光电转换；及波导(20)，其系包含光透过性材料，该光透过性材料系形成于覆盖具备该受光部(1)之基体上之绝缘膜5中；前述波导(20)系将外部之入射光导至前述受光部(1)，于前述波导(20)上设置自光入射方向观察之平面形状大小，自该光之入射侧之面向前述受光部侧缩小之正锥状部。