发明名称 侦测组件及具有该侦测组件之微影投影装置
摘要 发明包括一组件20,其用于电容式侦测一支撑结构23上之一物体21,该组件包括:至少一安排在该支撑结构23附近之电极25,以及至少一连接至该至少一电极25之电缆29,该至少一电缆29具有一第一导体28与一第二导体26,该第一导体28连接至一直流电源31与一第一交流电源33之串联组合,且一控制元件37系配置成可以:–控制该直流电源31以向至少一电极25提供一预定直流电压,以便在该物体21上提供一夹持力,并且–控制该第一交流电源33以经由该第一导体28向该至少一电极25提供一具有一第一幅度与一第一相位之预定第一交流电压,俾电容式侦测该物体21。本发明创新之处在于该组件20包括一连接该第二导体26之第二交流电源35,并且安排该控制元件37以控制该第二交流电源35,以向该第二导体26提供一预定第二交流电压,该第二交流电压分别具有一第二幅度与一第二相位,其实质上分别等于该第一幅度与第一相位。
申请公布号 TW200424799 申请公布日期 2004.11.16
申请号 TW093100436 申请日期 2004.01.08
申请人 ASML公司 发明人 派崔西斯 爱骆伊 贾库博 堤尼曼;ALOYISIUS JACOBUS
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 荷兰