基板之光检测装置

摘要

一种基板之光检测装置，系用以提供在最佳的光学条件下以检测大尺寸基板的表面，其包括有复数个反射镜，系分别用以反射自复数个光源所发出的光线，且光源系在一曲面上作上下左右至少一方向的位移；以及复数个菲涅尔透镜，用以将自反射镜所反射出的发散光线聚焦至一焦点，并照亮在平台上的基板，从而简化光检测装置的位移结构，同时透过复数个光线照亮大尺寸基板上的大面积，即可令使用者在不需移动焦点的情况下，以一固定焦点检测基板。