Anordnung zur Inspektion von Objekten, insbesondere von Masken in der Mikrolithographie

摘要

Anordnung zur Inspektion von Objekten, insbesondere von Masken in der Mikrolithographie, DOLLAR A die sich in einer Vakuumkammer befinden, wobei ein Wandler zur Umwandlung der vom Objekt kommenden Beleuchtungsstrahlung in eine Strahlung größerer Wellenlänge sowie ein Sensor zur Bildaufzeichnung vorgesehen ist, DOLLAR A wobei sich der Sensor außerhalb der Vakuumkammer befindet und als optische Schnittstelle von der Vakuumkammer zum Sensor der Wandler oder zumindest ein Teil eines Abbildungsobjektivs als Fenster in der Vakuumkammer angeordnet ist.