| 发明名称 |
Smart automatic recording system and method for monitoring wafer fragmentation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6816748(B1) |
申请公布日期 |
2004.11.09 |
| 申请号 |
US20000686895 |
申请日期 |
2000.10.12 |
| 申请人 |
WINBOND ELECTRONICS CORP |
发明人 |
CHEN TING KUO;KUO WEN CHIN;LIAO YONG SEN;LIN CHUN CHIEH |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B49/00;G06F19/00;H01L21/00;(IPC1-7):G06F19/00 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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