| 发明名称 |
Method and apparatus for transferring a semiconductor substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2004219001(A1) |
申请公布日期 |
2004.11.04 |
| 申请号 |
US20040855033 |
申请日期 |
2004.05.27 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
REIMER PETER;PATEL JAYESH |
| 分类号 |
B25J9/06;B25J9/10;B25J15/08;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):B65G1/00 |
主分类号 |
B25J9/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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