DEVICE FOR REDUCING COHERENCE

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, insbesondere eines Laserlichtbündels zur Beleuchtung einer Bildfläche oder einer Probe. Erfindungsgemäss umfasst eine solche Anordnung eine Einrichtung zur Strahlteilung, z.B. einen ersten Teilerwürfel (2), an dem ein einfallendes Lichtbündel (1) in zwei Teilbündel (4, 5) aufgespalten wird, eine Einrichtung zur Strahlvereinigung, z.B. einen zweiten Teilerwürfel (6), an dem die Teilbündel (4, 5) zu einem abgehenden Lichtbündel (10) zusammengeführt werden, und Umlenkelemente, z.B. Spiegel (8, 9), die in den Lichtwegen der Teilbündel (4, 5) zwischen diesen beiden Einrichtungen positioniert sind, wobei die Lichtweglängen der Teilbündel (4, 5) verschieden sind und der Längenunter­ schied so gross ist, dass die Kohärenz der Wellenzüge/Phasenraumzellen in den Teilbündeln (4, 5) überschritten und damit deren Fähigkeit, miteinander zu interferieren, vermindert bzw. aufgehoben ist.