发明名称
摘要
申请公布号 JP3582784(B2) 申请公布日期 2004.10.27
申请号 JP20000363135 申请日期 2000.11.29
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;B08B3/08;B08B3/10;G02F1/1333;H01L21/302;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302;G02F1/133 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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