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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht, und eine durch das Verfahren hergestellte Dünnschicht
摘要
申请公布号 DE69633369(D1) 申请公布日期 2004.10.21
申请号 DE19966033369 申请日期 1996.07.12
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO., LTD. 发明人 KAWAMATA, KEN;MITAMURA, NOBUAKI
分类号 G02B1/10;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/40;C30B25/06;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/46 主分类号 G02B1/10
代理机构 代理人
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