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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines in einer Halbleitervorrichtung integrierten Kondensators
摘要
申请公布号 DE69633367(D1) 申请公布日期 2004.10.21
申请号 DE19966033367 申请日期 1996.07.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 MATSUDA, AKIHIRO;ARITA, KOJI;NAGANO, YOSHIHISA;UEMOTO, YASUHIRO;NASU, TORU
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320;H01G4/20;H01L29/92 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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