具感测装置之晶片传输系统

摘要

一种具感测装置之晶片传输系统，用以将晶片(wafer)带进与带离制程区。此晶片传输系统至少包括：原动轮、从动轮、滚筒、挠性连结件、传输带、压带滚筒(pinchroller)以及感测件。挠性连结件系连结原动轮与从动轮，原动轮系透过此挠性连结件带动从动轮及滚筒转动。压带滚筒系紧压传输带于滚筒上，传输带受转动之滚筒与从动之压带滚筒带动，可将晶片带进与带离制程区。感测件则设置于可感测到挠性连结件之固定位置，用以感测挠性连结件之状态；其中，当挠性连结件处于裂断状态时，此感测件即输出警示信号。