镀膜设备

摘要

一种镀膜设备，包括一动力单元、一传动机构、一监控机构、一基板承载机构及一镀膜源。其中，动力单元系具有一旋转轴心；传动机构系包括一第一齿轮及一第二齿轮，且第一齿轮系轴设于旋转轴心，第二齿轮系与第一齿轮相啮合，第二齿轮之具有一第一开口；监控机构系具有至少二测试元件；基板承载机构系连设于第二齿轮且具有一第二开口，第二开口系与第一开口相对而设，监控机构系穿设于第一开口及第二开口中；镀膜源系与基板承载机构及测试元件相对而设。