发明名称 电子射线照射装置,电子射线照射方法,碟片状体之制造装置及碟片状体之制造方法
摘要 本发明系一种容易使由藉由照射紫外线难以硬化的材料所构成的表面层及/或位于其下方之透光层等之树脂层的至少一部分硬化之电子射线照射装置及电子射线照射方法。本发明系一种可将由藉由照射紫外线难以硬化的材料所构成的表面层及/或位于其下方之透光层等之树脂层的至少一部分有效率地形成在碟片状体上之碟片状体之制造装置及碟片状体之制造方法。电子射线照射装置1具备有让被旋转体2作旋转驱动的旋转驱动部17,将被旋转体收容成可自由旋转的遮蔽容器10,以及如从其照射窗11a将电子射线照射在被旋转体之表面般地被设在遮蔽容器的电子射线照射部11,而在被旋转体作旋转的期间,从电子射线照射部的照射窗将电子射线照射在其表面。藉此可将具有较紫外线为大之能量的电子射线有效率地照射在旋转中之被旋转体的表面。
申请公布号 TW200421014 申请公布日期 2004.10.16
申请号 TW092125766 申请日期 2003.09.18
申请人 TDK股份有限公司 发明人 宇佐美守;田中和志;米山健司;金子幸生;梅香毅
分类号 G03F7/00;G11B7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本