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发明名称
VAKUUMBEHANDLUNGSANLAGE
摘要
申请公布号
AT278249(T)
申请公布日期
2004.10.15
申请号
AT19980955307T
申请日期
1998.12.03
申请人
UNAXIS TRADING AG
发明人
SCHERTLER, ROMAN;DUBS, MARTIN
分类号
B01J3/00;C23C14/50;G11B7/26;G11B11/105;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
B01J3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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