Magnetron mit Kühlmittelschutz

摘要

Ein Magnetron (1), welches in einer Vakuumkammer (2) angeordnet ist, umfaßt eine zylindrisch geformte, länglich hohle Targetkonstruktion (21), die in der Vakuumkammer (21) drehbar gelagert ist, und eine Magnetkonstruktion (25) innerhalb der Targetkonstruktion (21), die sich im wesentlichen über deren axiale Länge erstreckt und gegen Mitdrehen gesichert ist. Die Magnetkonstruktion (25) ist gegenüber einem die Targetkonstruktion (21) kühlenden Kühlmittelkreislauf (18) abgedichtet.