聚焦与感光式微透镜阵列之制法

摘要

聚焦与感光式微透镜阵列之制法，主要包括：一、预备步骤；二、曝光成型步骤；三、导电层成型步骤；四、复制翻模步骤；五、微透镜成型步骤；六、成品步骤。本发明利用光学微影之近接式曝光法，在光罩与光阻层之间隔一预定空隙，经曝光与显影后，得以形成微透镜阵列，再加以电铸成形为模具，供日后量产。其兼具精密度高且生产成本低、制程稳定及应用范围广等各种优异效果；尤其，以不同的间隔部让紫外线光源产生不同的绕射现象，并以不同的间距照射于光阻层而产生特定几何外形之微透镜阵列，可应用于各式微米领域的科技产品中。