Vorrichtung zur Bearbeitung von Substraten, insbesondere von elektrischen Schaltungssubstraten, mit Laser

摘要

Die Vorrichtung zur Bearbeitung von Substraten (3), insbesondere elektrischen Schaltungssubstraten, besitzt eine Laserquelle, ein in dem Strahlgang des Laserstrahls (2) angeordnetes optisches Ablenk- und Abbildungssystem (1) und ein das optische System zum Substrat (3) hin abschirmendes Schutzglas (5). Dieses Schutzglas (5) ist mit einer Heizvorrichtung (8; 9) versehen, wodurch es eine merklich höhere Temperatur als seine Umgebung aufweist.