| 发明名称 | 抬升及支撑装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种在等离子处理设备中用于搬运和放置具有较大表面的平板型元件的抬升及支撑装置。所述抬升及支撑装置包括一个独特的金属基板，该基板上设有若干绝缘柱体。所述柱体可以被插入设置在基板中的柱体孔内。在进行等离子处理过程中，为搬运平板型元件，该平板型元件可被放置在柱体的端部。平板型元件可能呈现静电充电。在与充有静电荷的平板型元件相适应的前提下，柱体及柱体孔均选择较小的直径，从而基本上避免了在平面型元件上产生不希望的静电充电；而且基本上避免了在柱体或柱体孔区域处发生等离子扰动。 | ||
| 申请公布号 | CN1533587A | 申请公布日期 | 2004.09.29 |
| 申请号 | CN02814381.7 | 申请日期 | 2002.07.15 |
| 申请人 | 优利讯斯巴尔扎斯股份公司 | 发明人 | 穆斯塔法·埃利亚库比;雅克·施米特 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王昭林;张蕴 |
| 主权项 | 1.一种在等离子处理设备中用于搬运和支撑具有较大表面的平板型元件(4)的抬升及支撑装置，该抬升及支撑装置设有基板(1)，基板(1)上列设有多个绝缘柱体(2)，且柱体(2)的末端(9)可支撑平板型元件(4)以实施搬运，其中平板型元件(4)可以带有静电荷，其特征在于：柱体(2)的直径制成足够小以配合带有静电荷的平板型元件(4)，从而在平板型元件(4)上的不希望的静电放电基本上被避免。 | ||
| 地址 | 列支敦士登巴尔扎斯 | ||