发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING LARGE AREA COATINGS ON PLANAR SURFACES
摘要
申请公布号 AU2003211169(A1) 申请公布日期 2004.09.17
申请号 AU20030211169 申请日期 2003.02.20
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 MARC SCHAEPKENS
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/513;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/513 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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