表面检查方法及装置

摘要

本发明系揭示检查晶圆表面之方法及装置，其可切换或混合两种或多种类雷射，以在薄膜涂层晶圆上经由一相同入射角而产生雷射入射，其中有关一检查装置的检查资料与有关薄膜的薄膜参数是以彼此有关的状态而储存在该检查机构的储存装置，如此可获得预定的检查条件。当执行每个测量时，操作员能透过该检查机构的设定装置而设定待测晶圆的薄膜参数。因此，该等想要的检查条件能在该检查装置中自动设定。该等于每个测量中能由操作员设定的薄膜参数是一薄膜厚度与一薄膜折射率。