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发明名称 Method of manufacturing capacitor included in semiconductor device
摘要
申请公布号 EP0753887(B1) 申请公布日期 2004.09.15
申请号 EP19960111080 申请日期 1996.07.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 MATSUDA, AKIHIRO;ARITA, KOJI;NAGANO, YOSHIHISA;UEMOTO, YASUHIRO;NASU, TORU
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320;H01L29/92;H01G4/20 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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