微重力加速度级电容式加速度传感器

摘要

本发明公开了一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，由支撑边缘，由电容动极板及电容定极板构成的电容器和质量块组成，在支撑边缘和电容器上均设在锚区，设在支撑边缘上的锚区通过悬臂梁与设在电容器上的锚区相连，电容器动极板由浓硼重掺杂可动下电极和多晶硅可动上电极组成，在浓硼重掺杂可动下电极和多晶硅可动上电极之间设有可动极板锚区，电容定极板固定与支撑边缘上并位于浓硼重掺杂可动下电极和多晶硅可动上电极之间，质量块为多晶硅质量块并设在浓硼重掺杂可动电极上。本发明减小质量块的质量，但不改变敏感电容的大小，采用简单的加工工艺，多晶硅固定电极刚度就能满足传感器闭环控制的需要。

主权项

1.一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，由支撑边缘(1)，由电容动极板及电容定极板(2)构成的电容器和质量块(3)组成，在支撑边缘(1)和电容器上均设有锚区(4和5)，设在支撑边缘(1)上的锚区(4)通过悬臂梁(6)与设在电容器上的锚区(5)相连，其特征在于电容器动极板由浓硼重掺杂可动下电极(7)和多晶硅可动上电极(8)组成，在浓硼重掺杂可动下电极(7)和多晶硅可动上电极(8)之间设有可动极板的锚区(9)，电容定极板(2)固定于支撑边缘(1)上并位于浓硼重掺杂可动下电极(7)和多晶硅可动上电极(8)之间，质量块(3)为多晶硅质量块并设在浓硼重掺杂可动电极(7)上。