气体流量测定装置

摘要

在通过被测定流体(气体)的一部分的副通路上，设置有流量测定元件。在副通路的壁体上，设置使浸入、堆积在内部的液体排出的泄漏孔(贯通孔)。在泄漏孔的副通路外壁侧的开口面附近，设置在该开口上产生动压的突起。或者在副通路内壁面上，设置位于泄漏孔的上游的突起。前者的突起，对应在副通路外壁面上游动的气体的流速，产生动压，后者的突起，在副通路的内壁面(泄漏孔附近)上，通过生成剥离流域来降低压力。因此，泄漏孔的副通路内壁侧的开口与外壁侧的开口的压力差大致相等，使来自泄漏孔的气体的流出减少。据此，抑制了在泄漏孔因液滴、液膜而被阻塞时与没有被阻塞时的副通路内的流速分布的变化，降低了流量计量误差。另外，作为其他的方法，在泄漏孔的副通路外壁侧的开口附近，设置结构手段，以防止由于表面张力而在该开口上形成液膜、液滴。

主权项

1.一种气体流量测定装置，具有气体流动的主通路和气体的一部分流动的副通路，用于检测气体的流量的检测元件配置在副通路内，其特征在于，在上述副通路的入口和出口之间，设置有连通副通路的内壁面和外壁面的贯通孔，在上述贯通孔的副通路内壁侧和副通路外壁侧的双方或者任意一方的开口附近，设置有用于减少通过上述贯通孔的气体的流量的结构手段。