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发明名称
Piezoelectric actuator with passive gap for push-pull motion
摘要
申请公布号
AU2004214910(A1)
申请公布日期
2004.09.10
申请号
AU20040214910
申请日期
2004.02.25
申请人
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL);ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)
发明人
JEAN-MARC BREGUET;THIERRY VARIDEL;ARVID BERGANDER
分类号
H01L41/09;H02N2/00;(IPC1-7):H01L41/09
主分类号
H01L41/09
代理机构
代理人
主权项
地址
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