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发明名称
摘要
申请公布号 JP3562120(B2) 申请公布日期 2004.09.08
申请号 JP19960076318 申请日期 1996.03.29
申请人 发明人
分类号 C30B23/08;C30B29/16;H01L21/316;H01L49/02;(IPC1-7):C30B29/16 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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