| 发明名称 |
Verfahren zum Ausführen von Präzisionssägezahnschleifen auf der Oberfläche eines bestimmten Werkstückes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69913070(T2) |
申请公布日期 |
2004.09.02 |
| 申请号 |
DE19996013070T |
申请日期 |
1999.09.17 |
| 申请人 |
DISCO CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
KAJIYAMA, KEIICHI;SEKIYA, KAZUMA |
| 分类号 |
B24B13/00;B24B13/01;B24B19/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B19/02 |
主分类号 |
B24B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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