电浆触媒

摘要

在此针对各种不同之电浆制程及处理而提供用于点火、调整及维持一电浆之方法及装置。在一实施例中，藉由使一位在一多重模式处理凹室中之气体在一可以为被动型或主动型之电浆触媒存在的情况下，受到具有介于约1MHz及约333GHz之间的电磁辐射照射而点火一电浆。一被动型电浆触媒可包括譬如任何能够藉由改变一局部电场而引致产生一电浆之任何物体。一主动型电浆触媒可包括在电磁辐射存在的情况下能够传送足够能量给一气态原子或分子以自该气态原子或分子移除至少一电子的任何颗粒或高能量波封包。