基板处理装置和基板处理方法

摘要

在本发明中，由于相应于基板的种类进行气缸的切换，所以能够防止在基板的成品区域转印支持销的痕迹。此外，在本发明中，由于以平台为基准驱动支持销升降，所以能够使气缸的驱动量比较少，而且能够极力抑制微粒的产生。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：保持部，被设置成能够升降，并且至少保持基板的周缘部；第1驱动部，驱动所述保持部的升降动作；第1支持部件，支持基板的第1区域；第2支持部件，支持与基板的所述第1区域不同的第2区域；第2驱动部，相应地切换所述第1支持部件和所述第2支持部件并使其相对于所述保持部升降。