检查装置

摘要

本发明涉及一种在例如大型液晶显示器(LCD)的玻璃基板等被检查物的检查中所适用的检查装置。在该检查装置中，通过成像透镜成像利用物镜光学系统形成的像，并在具有相对于被检查物的检查面大致平行地进行传送的转像光学系统的水平延长镜筒内，传送该成像的像，通过垂直延长镜筒内的转像光学系统，向下方传送利用该水平延长镜筒内的转像光学系统传送的像，利用观察光学系统可观察在该垂直延长镜筒内传送的像。

主权项

1、一种检查装置，具有：载置被检查物的载物台；物镜光学系统，形成载置在上述载物台上的上述被检查物的像；成像透镜，对由上述物镜光学系统形成的上述像进行成像；水平延长镜筒，具备转像光学系统，该转像光学系统将由上述成像透镜成像的上述像，相对于上述被检查物的检查面大致平行地进行传送，其特征在于，具备：垂直延长镜筒，具有转像光学系统，该转像光学系统与上述水平延长镜筒连结，将由上述水平延长镜筒内的转像光学系统传送的上述像向下方传送；观察光学系统，具有目镜，该目镜与上述垂直延长镜筒连结，用于对由上述垂直延长镜筒内的转像光学系统传送的上述像进行目视观察。