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发明名称 DEVICE FOR CONTROLLING AN APPARATUS GENERATING A CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 EP1446819(A1) 申请公布日期 2004.08.18
申请号 EP20020793244 申请日期 2002.11.18
申请人 发明人
分类号 H01J37/04;H01J37/21;H01J37/30;H01J37/304;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/304 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
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