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发明名称 Exhaust ring for manufacturing semiconductors
摘要
申请公布号 USD494552(S1) 申请公布日期 2004.08.17
申请号 US20030183537F 申请日期 2003.06.12
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TEZUKA KAZUYUKI;KITAZAWA TAKASHI;AMIKURA NORIHIKO;KOIZUMI HIROSHI
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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