发明名称 晶圆容器清洁系统
摘要 本发明揭示一种处理平坦媒体用盒子之清洁系统及方法,该系统包含一可旋转地安装在一包体内之转子,并于该包体中具有喷嘴,用于将流体喷向该转子。该转子具有用于夹住一盒子之至少一盒子夹具总成。至少一固位棒系位于该转子上,用于啮合该盒子之一前面部分,以于该转子之旋转期间将该盒子固位于该盒子夹具总成中。该固位棒系最好可由该固位棒将该盒子限制在该盒子夹具总成上之第一位置移动至该固位棒由该盒子移走之第二位置。另一选择是,该盒子夹具总成可包含一基座,在该基座上设有复数沟槽元件,该等沟槽元件被设计成适于啮合该盒子上之一凸缘,用于将该盒子固定至该盒子夹具总成。
申请公布号 TW200414941 申请公布日期 2004.08.16
申请号 TW092130471 申请日期 2003.10.31
申请人 山米托尔公司 发明人 克特 杜拉查克;杰夫利 大卫斯
分类号 B08B9/08 主分类号 B08B9/08
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国