发明名称
摘要
申请公布号 JP3551961(B2) 申请公布日期 2004.08.11
申请号 JP20020107629 申请日期 2002.04.10
申请人 发明人
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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