发明名称 |
搬运机构、使用搬运机构的移动式探针板搬运装置及探测装置 |
摘要 |
探针板搬运装置(10)具备可在台面(G)上自由移动的转向架(11),和可离接地配置在该转向架(11)上,且在转向架11与探测装置(100)之间搬运探针板C的搬运机构(12),搬运机构(12)具有基座(13)、在基座(13)上进退移动的臂机构(14),在基座(13)中设置与探测装置(100)的定位机构(40),同时,设置与探测装置(100)的固定机构(50)。 |
申请公布号 |
CN1519572A |
申请公布日期 |
2004.08.11 |
申请号 |
CN200310110391.4 |
申请日期 |
2003.12.29 |
申请人 |
东京毅力科创株式会社 |
发明人 |
雨宫浩;川口浩二;铃木胜 |
分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
1.一种搬运机构,其中,具备:基座;可进退移动地配置在基座上的第1臂机构;可进退移动地配置在第1臂机构上的第2臂机构;配置在所述第1臂机构前后的一对旋转体;挂绕在该一对旋转体之间的环状带;将该环状带连结在该基座上的第1连结件,以及将该环状带连结在该第2臂机构上的第2连结件,在此,通过在旋转体的周围使该环状带移动,第1臂机构及第2臂机构在基座上进退移动。 |
地址 |
日本东京都 |