用于正性光刻胶的混合溶剂体系

摘要

一种适用作光刻胶的光敏正性的组合物，其中包括至少一种成膜树脂、至少一种光敏剂和含大于50％重量的亚烷基二醇烷基醚和低于50％重量的或烷氧基丙酸烷基酯或烷基戊基酮的光刻胶溶剂混合物，以及一种制备这种光刻胶组合物的方法。

主权项

1.一种正性光刻胶组合物，主要包括如下成分的混合物：a)以光刻胶组合物的固体部分为基准，15-99％重量的至少一种成膜树脂，b)以光刻胶组合物的固体部分为基准，1-85％重量的至少一种光敏剂成分，以及c)以组合物总重量为基准，40-90％重量的光刻胶溶剂混合物，所述溶剂混合物的70-90％重量是C1-C4亚烷基二醇C1-C4烷基醚，溶剂混合物其余成分为由C1-C4烷基戊基酮或C1-C4烷氧基丙酸C1-C4 烷基酯组成。