| 摘要 |
一种用于测试一被测元件(DUT)以检测一缺陷之测试装量包括一测量电路(ME)、一定限电路(TH)以及一控制电路(CG)。该测量电路(ME)包括一计数器(C1)，用于在一计数周期(TC)期间对时钟脉冲(CLK)进行计数以获得时钟脉冲(CLK)之一计数数字(N)。该计数周期(TC)具有由一测试循环之起始(t1)所决定之一起始，其中该测试循环发生于耦接至该被测元件(DUT)之一终端(IN)之一开关(S)从该终端(IN)移除一电源电压(VDD)并且该终端上之电压(VDD’)开始衰减之瞬时。该计数周期(TC)之一结束由一瞬时(t2)所决定，其中该瞬时系当一比较器(COM1)检测到该终端(IN)上之该电压(VDD’)越过了一参考值(VREF)之时。该控制电路(CG)考虑该被测电路(CUT)之制造程序变动性而产生该时钟信号(CLK)及／或一参考数(NTH)。该定限电路(TH)藉由比较该计数数字(N)与该参考数(NTH)而产生一通过／失败信号(PF)。 |
