| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING A MEMBRANE TARGET FOR LASER PRODUCED PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003303542(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.29 |
| 申请号 |
AU20030303542 |
申请日期 |
2003.12.31 |
| 申请人 |
JMAR RESEARCH INC. |
发明人 |
EDMOND TURCU;JIM MORRIS;HARRY RIEGER |
| 分类号 |
G21K1/00;H01J3/00;H05G2/00;H05H1/00;H05H6/00 |
主分类号 |
G21K1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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