| 发明名称 |
Verfahren und Apparat zur Gitternetzerzeugung mit einem Konturschutzüberzug |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69725203(T2) |
申请公布日期 |
2004.07.29 |
| 申请号 |
DE19976025203T |
申请日期 |
1997.03.26 |
| 申请人 |
NEC ELECTRONICS CORP., KAWASAKI |
发明人 |
SYO, TOSHIYUKI |
| 分类号 |
H01L29/00;G06F17/50;G06T17/20;H01L21/00;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):G06T17/20 |
主分类号 |
H01L29/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
