压阻式温度感测器

摘要

一种压阻式温度感测器，包括感测装置及压阻元件，以感测喷墨头内的墨水温度，操作时，可用半导体材料在喷墨头处形成矩形的感测区域，在感测区域各边缘中心点设置压阻元件，以承受因压阻元件形变而产生的应力。当墨水温度上升后，喷墨头表面会因受热而隆起，故感测装置也随之形变，使压阻元件受到大应力而使其电阻值改变；若将各压阻元件以电桥型态相互耦接，便使各电阻值变化被转换为电压信号输出，以得知墨水温度。

主权项

1.一种压阻式温度感测器，配置于内含一流体的腔型装置处，用以感测该腔型装置内的流体温度，该压阻式温度感测器包括：一感测区域，位于该腔型装置处；以及一压阻元件，配置于该感测区域处；其中，该感测区域的几何形状追随该流体的温度变化而改变，由此使该压阻元件的电阻值产生变化以感测该流体的温度。