| 发明名称 |
PROCESS AND DEVICE FOR GENERATING DOSAGE PATTERNS FOR THE PRODUCTION OF STRUCTURED SURFACES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0674778(B1) |
申请公布日期 |
2004.07.28 |
| 申请号 |
EP19940929516 |
申请日期 |
1994.10.06 |
| 申请人 |
LEICA LITHOGRAPHIE SYSTEME JENA GMBH |
发明人 |
KLEY, ERNST-BERNHARD |
| 分类号 |
G03F7/20;B29D11/00;G02B3/08;G03F7/00;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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