发明名称 |
全氟化产物的纯化方法 |
摘要 |
本发明公开了含有含有小于约10ppm(摩尔)以下杂质(例如四氟甲烷(PFC-14))的三氟化氮(NF<SUB>3</SUB>)。公开了使用夹带剂的共沸与萃取蒸馏方法,该方法用于将NF<SUB>3</SUB>和PFC-14彼此分离和从含其他电子工业材料的混合物中分离。 |
申请公布号 |
CN1515529A |
申请公布日期 |
2004.07.28 |
申请号 |
CN03131464.3 |
申请日期 |
1998.11.10 |
申请人 |
纳幕尔杜邦公司 |
发明人 |
B·A·马勒;R·N·米勒;C·-P·C·考 |
分类号 |
C07C19/08;C07C17/383;C01B21/083 |
主分类号 |
C07C19/08 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
徐雁漪 |
主权项 |
1、一种从由氟化物和其它化合物组成的第一混合物中分离选自四氟甲烷和三氟化氮的该氟化物的方法,它包括:a)使第一混合物与氯化氢夹带剂接触,以生成第二混合物,b)蒸馏第二混合物,以生成所述氟化物和氯化氢的共沸或类共沸组合物,和c)以蒸馏塔塔顶物流回收该氟化物和氯化氢的共沸和类共沸组合物,以蒸馏塔塔底物流回收其它化合物。 |
地址 |
美国特拉华州威尔明顿 |