| 发明名称 |
Ultrasonic levitation in a rapid thermal processing plant for wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003293739(A8) |
申请公布日期 |
2004.07.22 |
| 申请号 |
AU20030293739 |
申请日期 |
2003.11.28 |
| 申请人 |
MATTSON THERMAL PRODUCTS GMBH |
发明人 |
KLAUS FUNK |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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