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发明名称 PLASMA TREATMENT APPARATUS AND CONTROL METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20040065250(A) 申请公布日期 2004.07.21
申请号 KR20047009016 申请日期 2002.12.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H05H1/46;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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