电容型位移测量装置

摘要

一种位移传感器包括一第一标尺(11)和第二标尺(12)，这两标尺彼此相对设置且可沿测量轴线方向相对移动。第一标尺(11)包括一发射电极组(13)和一接收电极(14)。该发射电极组(13)由多个以一基本周期(W1)沿着测量轴线方向排列的发射电极单元组成。每个发射电极单元由沿着测量轴线方向排列的n个发射电极组成，并接收n-相位发射信号的相应的相位信号。接收电极(14)沿着垂直于位移方向的方向邻近于发射电极组(13)。接收电极(14)的宽度等于基本周期(W1)并小于发射电极组(13)的宽度。接收电极(14)在沿其宽度方向并邻近于发射电极组的两端的角部(14a，14b)被切割。第二标尺(12)包括多个以基本周期(W1)形成的连接电极(18)，并电容性连接于发射电极组(13)和接收电极(14)。

主权项

1.一种电容型位移测量装置，它包括：一第一标尺和一第二标尺，这两标尺彼此相对设置且沿测量轴线方向可相对移动；一发射电极组，它形成在所述第一标尺上，它由以一基本周期沿测量轴线方向排列的多个发射电极单元组成，每个发射电极单元由n个发射电极组成，这些电极沿该测量轴线方向排列以接收诸n相发射信号的相应的相位信号，其中的n指的是一个为2或更大的整数；至少一个接收电极，它设置在所述第一标尺上并沿垂直于所述测量轴线的方向邻近于所述发射电极；以及多个连接电极，它们沿所述测量轴线方向以与所述基本周期相同的周期排列在所述第二标尺上，以致电容性连接于在所述第一标尺上的诸所述发射电极单元和接收电极；其特征在于，所述接收电极沿所述测量轴线方向的宽度等于所述基本周期的整数倍而比所述发射电极组的沿所述测量轴线方向的宽度小，在所述接收电极的宽度方向上的两端的位置，相对于所述发射电极组的两端要朝里些，所述接收电极的所述两端的面对所述邻近于接收电极的若干发射电极的两端的两个发射电极(13c，13d)的至少一部分并靠近于所述发射电极组的诸角部被切除掉，使得来自所述两个发射电极(13d，13c)和邻近所述若干发射电极的两个发射电极(13b，13e)的干扰分量减小。