| 发明名称 |
METHOD FOR MAKING A PLANAR SUSPENDED MICROSTRUCTURE, USING A SACRIFICIAL LAYER OF POLYMER MATERIAL AND RESULTING COMPONENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003299341(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.14 |
| 申请号 |
AU20030299341 |
申请日期 |
2003.12.18 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
CATHERINE MAEDER-PACHURKA;NICOLAS SILLON;PHILIPPE ROBERT;FRANCE MICHEL |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;(IPC1-7):B81C1/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
